Литографические сканеры не являются единственным оборудованием, необходимым для производства полупроводников. Хотя передовые технологии EUV недоступны китайским инженерам, более простые операции все чаще выполняются на местных станках. По данным TrendForce, доля отечественного оборудования в Китае достигла 35% в прошлом году, превысив запланированные 30% к 2025 году. В 2024 году этот показатель составлял 25%.
В сегменте оборудования для травления кремниевых пластин и нанесения покрытий доля китайских изделий уже превышает 40%. Например, оборудование для травления 5-нм чипов проходит валидацию на производственных линиях TSMC.
Технологические печи Naura занимают более 60% в производстве 28-нм чипов у SMIC, а доля оборудования Piotech на линиях YMTC увеличилась с 15% до 30%. Однако в области контрольно-измерительных машин и литографических сканеров уровень импортозамещения остается низким — 25% и 18% соответственно.
Спрос на китайское оборудование возрос на 80%, и власти требуют, чтобы новые линии имели 50% местного оборудования. В 2022 году доля была ниже 10%. Закупка отечественного оборудования субсидируется, что способствовало оформлению 421 заказа на сумму $122 млн.